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上海市技术发明奖一等奖!这项飞秒激光关键技术出自闵行

转自:今日闵行 2025-09-11 14:51:42

2024年度上海市科学技术奖公布,由闵行区梅陇镇企业上海朗研光电科技有限公司(以下简称朗研光电)、华东师范大学曾和平教授团队等联合开发的项目高稳定、高精度、高效率飞秒激光关键技术及装备研制荣获技术发明奖一等奖。(详情点击:再创新高!闵行区67项(人)获2024年度上海科学技术奖!

华东师范大学曾和平教授是“高稳定、高精度、高效率飞秒激光关键技术及装备研制”项目的发起人与核心技术带头人,多年来携手上海朗研光电科技有限公司开展深度合作

朗研光电成立于2009年,是一家研制与开发超短脉冲光纤激光器、单光子探测器、量子保密通信系统、高灵敏检测仪器的创新型高新科技公司。在这一联合攻关过程中,曾和平教授团队依托其雄厚的科研实力,承担关键技术研发与理论支撑,朗研光电投入核心研发人员,负责光源工程化开发,共同构建了“高校科研引领、企业落地承接”的协同创新。

780nm高功率光纤飞秒激光器、重频锁定光纤飞秒激光器

朗研光电的负责人介绍飞秒激光源的难点在于自启动性能差、长期稳定性差等,为了解决这个问题,曾和平教授团队提出了锁模孤子爆炸控制新机理,研发锁模自启动与长稳控制、时频与空间精密操控等核心技术,在这些技术引领下,朗研光电开发了一系列基于完美的全自动锁模脉冲、特有的低噪声光纤放大技术、高效率的非线性倍频技术、可靠的泵浦保护技术的高性能激光器,如780nm光纤飞秒激光器、1030nm/515nm超窄脉宽飞秒激光器、光纤飞秒种子源、毫焦级飞秒激光器、GHz飞秒激光器等系列产品,解决了一系列“卡脖子”问题,满足了国家在精密加工、精密测量等领域的重大需求

项目研制的高精度光梳光谱仪,在国际上率先实现了光梳光谱仪在野外苛刻条件下的应用。并成功开发了首台实现量产的飞秒激光SiC晶圆隐形切割装备,划片速度达1200mm/s,良率达99.5%,大幅提升第三代半导体芯片制备效率,同步构建飞秒光梳、高功率飞秒激光器、飞秒光丝精密加工装备等系列产品,成果成功应用于航空航天、国家电网、第三代半导体晶圆与芯片加工等领域

“上海市科学技术进步奖”是上海科技领域的最高荣誉之一,奖项不仅注重技术的先进性和创新性,更强调其实际应用价值、产业带动能力以及对经济社会发展的实际贡献。

供稿:梅小萱

编辑:徐宇扬
初审:岳顺顺
复审:方佳璐
终审:刘垦博

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